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撫州江西鍍鋅風管廠家

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產品詳細介紹
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(1)一般排氣:其來源于機臺運轉發(fā)熱產生不含有害物質或是高溫氣體,但考慮無塵室空調負荷與過濾裝置負荷,因此將廢氣以一般風車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。注:GEX采用鍍鋅螺旋風管,HEX采用SUS304酸排(SEX)、堿排(AEX)系統(tǒng)流程:
(2)酸堿性排氣:其主要來源于化學清洗工作站,清洗晶片時所產生之揮發(fā)性氣體,此氣體部分含有濃煙,部分則對呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體,故經(jīng)過Scrubber中水洗中和處理,再由風機排入大氣。
(3)有機溶劑排氣:其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用有機溶劑清洗過程時所產生,需經(jīng)有機廢氣處理設備處理后,再由風機排入大氣。
(4)堿性剝離排氣:主要來源為陣列工程的剝離工序所使用之剝離液,廢氣首先經(jīng)過冷凝吸收器,將廢氣中的剝離液冷卻下來,冷凝器吸收處理后的廢氣所含的廢氣濃度會大為下降,然后送至Central Scrubber做水洗中和處理,再由風機排大氣。
(5)應急排氣:當潔凈室機臺端風管內探頭感應氣體濃度過高時,緊急啟用以使生產正常并維持室內環(huán)境。
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